多项选择题
下列属于多晶硅薄膜的特性有（）。
A.扩散系数明显高于单晶硅B.晶粒尺寸大的薄膜电阻率小C.晶向唯一D.电阻率远高于单晶硅
多项选择题 LPCVD系统与PECVD系统相比，它们的相同点有（）。
多项选择题 APCVD系统的缺点有（）。
多项选择题 下列关于LPCVD的描述正确的有（）。
