多项选择题
APCVD系统的缺点有（）。
A.均匀性差B.易发生气相反应C.台阶覆盖D.高温工艺
多项选择题 下列关于LPCVD的描述正确的有（）。
多项选择题 影响淀积速率的因素有（）。
多项选择题 Grove模型建模时，关注的主要运动形式有（）。
