多项选择题
LPCVD系统与PECVD系统相比，它们的相同点有（）。
A.产量低B.可淀积Si3N4等C.台阶覆盖好D.反应控制
多项选择题 APCVD系统的缺点有（）。
多项选择题 下列关于LPCVD的描述正确的有（）。
多项选择题 影响淀积速率的因素有（）。
