填空题
在外延工艺中，如果膜和衬底材料（），例如硅衬底上长硅膜，这样的膜生长称为（）；反之，膜和衬底材料不一致的情况，例如硅衬底上长氧化铝，则称为（）。
相同；同质外延；异质外延
填空题 缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是（）、（）、高密度等离子体化学气相淀积和（）。
填空题 淀积膜的过程有三个不同的阶段。第一步是（），第二步是（），第三步是（）。
填空题 目前常用的CVD系统有（）、（）和（）。
