问答题
试给出硅片上的热氧化生长过程的示意图，并说明其中的各物理量的基本含义。
F：number/（cm2-s）C：number/cm3(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
问答题 是说明什么是迪尔—格罗夫模型？试给出迪尔—格罗夫模型两种极限情况的示意图。并说明其物理意义。
问答题 氧化硅的热动力学生长过程中包括哪几个主要过程？并说明每一种过程中的什么因素对氧化生长速率有影响？其中决定因素是什么？
问答题 热生长厚度是2000A的氧化层后，Si-SiO2的界面与原来的硅表面的高度差为多少？为什么？
