问答题 什么是恒定表面源扩散？其扩散形成的结深主要受哪些因素的影响？其中哪一个影响最主要？为什么？

问答题 解释扩散系数及其物理含义，并说明影响扩散系数的主要因素是什么，及如何影响？

问答题 说明杂质在晶圆中的扩散机制及主要特点，并各举一例。