多项选择题
Endura5500 degas腔的作用为（）。
A.除湿气，增加结合力B.转向，确保wafer角度一致C.去除晶圆表面的自然氧化层D.使晶圆表面温度迅速冷却
多项选择题 TiN膜的三个用途包括（）。
多项选择题 在线使用的靶材主要有（）。
多项选择题 需要监控的参数包括（）。
