问答题
什么是浅槽沟道隔离？其主要作用是什么？说明其主要优点及适用工艺范围？
是刻蚀掉部分衬底形成沟槽（槽刻蚀），再在其中回填上介电质（回填）作为相邻器件之间的绝缘体的一种器件隔离方法。......
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问答题 工艺最后生长在顶层的介质层称为什么？有什么材料构成？其主要作用是什么？
问答题 金属层间介质的作用是什么？通常用什么材料作层间介质层？
问答题 接触孔和通孔的作用是什么？它们是如何形成的？什么是钨塞。试说明其主要作用。
