问答题
简述在先进的CMOS工艺中，离子注入的应用。
①深埋层注入；②倒掺杂阱注入；③穿通阻挡层注入；④阈值电压调整注入；⑤轻......
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问答题 简述离子注入退火目的与方法。
问答题 简述离子注入效应。
问答题 简述离子注入工艺相对于热扩散工艺的优缺点。
