问答题 试说明氧化生长速率的基本定义及其物理含义，并说明影响氧化生长速率的主要工艺参数，及他们对生长速率的主要影响。

问答题 试给出硅片上的热氧化生长过程的示意图，并说明其中的各物理量的基本含义。

问答题 是说明什么是迪尔—格罗夫模型？试给出迪尔—格罗夫模型两种极限情况的示意图。并说明其物理意义。