判断题
在常规热氧化工艺中干氧氧化的速度最快。
错误(↓↓↓ 点击‘点击查看答案’看答案解析 ↓↓↓)
判断题 温度对氧化速率常数A、B都有影响,压强只影响氧化速率常数B。
判断题 硅热氧化形成SiO2体积将增加约1倍。
判断题 SiO2作为扩散掩蔽膜需要满足一定的厚度要求。