判断题
TEM观测与SEM相同，对样品厚度没有要求。
错误
判断题 通常利用TEM观测的分辨率高于SEM。
单项选择题 光刻技术中的反刻工艺，通常应用于（）的情况。
单项选择题 在CMOS工艺中，最为昂贵的步骤是：（）
