问答题
简述什么是异类反应和同类反应？
异类反应：反应发生在硅片表面或非常接近表面。同类反应：反应发生在离硅片很远的高空。必须避免同类反应生成薄膜束......
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问答题 描述CVD生长的简化过程。写出影响CVD生长速率的因素。
问答题 简述集成电路对薄膜的要求。
名词解释 化学气相沉积（CVD）
