单项选择题
表面平垣化的方式有很多种，效果最好的方式是（）
A.Ar回蚀法 B.PSG或BPSG的热回流 C.SOG回蚀法 D.化学机械抛光
单项选择题 在大马士革铜工艺中，铜薄膜通常采用（）方式获得。
单项选择题 在0.13um集成电路技术中，铜取代铝成为最主要的互连金属的主要原因是（）
单项选择题 在集成电路多层布线中，通常采用钨插销连接各层布线的最主要原因（）
