问答题
什么是负胶分辨率的限制,哪种胶应用在亚微米光刻胶中?
由于显影时的变形和膨胀,负性光刻胶通常只有2μm的分辨率。 正性光刻胶。
问答题 列出并描述两种主要的光刻胶。
问答题 给出硅片制造中光刻胶的两种目的。
问答题 列出光刻的8个步骤,并对每一步做出简要解释。