多项选择题
金属W（钨）的用途有（）。
A.局部互连B.全局互连C.钨插塞D.栅极
多项选择题 下列属于多晶硅薄膜的特性有（）。
多项选择题 LPCVD系统与PECVD系统相比，它们的相同点有（）。
多项选择题 APCVD系统的缺点有（）。
