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问答题

简答题

为什么使用外延生长难以得到突变结?

    【参考答案】

    通常希望外延层和衬底之间界面处的掺杂浓度梯度很陡,但是由于高温下进行外延生长,衬底中的杂质会进入外延层,使得外延层和衬底......

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