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单项选择题
下图属于什么光刻机？（）
A.接触式光刻机
B.步进扫描光刻机
C.分布重复光刻机
D.接近式光刻机 -
单项选择题
对于0.25um及以下的隔离技术采用以下（）方式。
A.局部氧化隔离
B.PN结隔离
C.PN结-介质隔离
D.浅槽隔离 -
单项选择题
WCVD工艺第一步是（）。
A.浸润
B.成核
C.BULK
D.直接反应
