问答题
简答题
什么是硅栅自对准技术？简单说明其主要制作步骤和主要优点。
【参考答案】
是一种在晶圆片上用单个掩模形成不同区域的的多层结构的技术，是一种可将两次MASK步骤合为一次，让多个不同区域一次成形的工......
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