问答题
简答题
什么是氧化层固定电荷？其产生的主要原因是什么？它对半导体器件的电学特性有何影响？工艺中可以用什么办法来解决？
【参考答案】
氧化停止时，所有SiO2层在SiO2-Si的界面附近都有一个薄的正电荷层，它......
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