问答题
简答题
列出Si—SiO2界面处的四种电荷，说明钠离子是属于哪一类电荷，以及这一类电荷会导致芯片出现什么问题，工艺中如何解决这一问题？
【参考答案】
四种类型的界面电荷：可动离子电荷：Qm（C/cm2），正电荷，如Na+、K......
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